廢氣淨化設備利用高頻高壓靜電的特殊脈衝放電方式（發射裝置每秒鐘發射上千億個高能離子），產生高密度的高能活性氧（介於氧分子和臭氧之間的一種過渡態氧），迅速與污染物分子碰撞，激活有機分子，並直接將其破坏；或者高能活性氧激活空氣中的氧分子產生二次活性氧，與有機分子發生一系列鏈式反應，並利用自身反應產生的能量維繫氧化反應，進一步氧化有機物質，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在極短的時間內達到很高的處理效率。
由於上述過程是在常溫下進行的，因此也稱為“低溫燃燒”過程，包括了許多種技術和作用，如過氧化氫、·OOH的催化作用和紫外線作用，這是一個極端複雜的物理過程，產生O2、O2-、O2+、·OH、·H02、·O、O等氧簇聚集體，由於具有極強的氧化能力，因此我們稱其為“活性氧”。
根據實驗結果，並結合國外採用氧化法處理惡臭的資料，基本確定AOE設備處理各種惡臭組分的機理和主要產物。惡臭污染物中主要含有的氣相污染物有H2S、NH3、CH3SH、VOCs（揮發性有機化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途徑有兩條：一是在高能電子的瞬時高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學鍵，使其直接分解成單質原子或無害分子；二是在大量高能電子、離子、激發態粒子和氧自由基、氫氧自由基（自由基因帶有不成對電子而具有很強的活性）等作用下的氧化分解成無害產物。
其反應機理為：
H2S + O2、O2-、O2+ → SO3 + H2O
NH3 + O2、O2-、O2+ → NOx + H2O
VOCs + O2、O2-、O2+ → SO3 +CO2+ H2O
